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四氯硅烷分析用氦离子色谱仪
详细信息| 询价留言品牌：博天堂918色谱 加工定制：是 型号：GC-9560-PDD 四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用博天堂918公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。
硅(SiHCl3)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 400 25 二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 400 25 甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 200 50 金属元素及其他元素含量 （硼+铝）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤ —— 0.1 （磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤ —— 0.3 镓（Ga）含量/（μg/kg） ≤ —— 0.5 锑（Sb）含量/（μg/kg） ≤ —— 0.5 铟（In）含量/（μg/kg） ≤ —— 0.5 钙（Ca）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 铬（Cr）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 铁（Fe）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 钾（K）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 钠（Na）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 镍（Ni）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 钼（Mo）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 锰（Mn） 含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 铜（Cu）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 镉（Cd） 含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 钴（Co）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 锌（Zn）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 钒（V）含量/（μg/kg） ≤ 1 0.5 -
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