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二氯硅烷分析用氦离子色谱仪
详细信息| 询价留言加工定制:是 品牌:博天堂918色谱 型号:GC-9560 仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用博天堂918公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统
二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用博天堂918公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。
项目名称 指标 三氯氢硅(SiHCl3 )含量(体积分数)/l0-6 ≤ 10 (一氯硅烷+氯化氢)含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以氯化氢计(体积分数)/l0-6 ≤ 50 氮(N2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ 1 (氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/l0-6 ≤ 1 一氧化碳(CO)含量(体积分数)/l0-6 ≤ 1 氢(H2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ 10 二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ 1 总烃(THC)含量,以甲烷(CH4)计(体积分数)/l0-6 ≤ 1 金属元素及其他元素含量 (硼+铝)(B+Al)含量/(μg/kg) ≤ 0.1 (磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg) ≤ 0.3 镓(Ga)含量/(μg/kg) ≤ 0.1 锑(Sb)含量/(μg/kg) ≤ 0.1 铟(In)含量/(μg/kg) ≤ 0.1 钙(Ca)含量/(μg/kg) ≤ 1 铬(Cr)含量/(μg/kg) ≤ 1 铁(Fe)含量/(μg/kg) ≤ 5 钾(K)含量/(μg/kg) ≤ 1 钠(Na)含量/(μg/kg) ≤ 0.2 镍(Ni)含量/(μg/kg) ≤ 1 钼(Mo)含量/(μg/kg) ≤ 0.1 锰(Mn) 含量/(μg/kg) ≤ 0.2 铜(Cu)含量/(μg/kg) ≤ 0.2 镉(Cd) 含量/(μg/kg) ≤ 0.5 钴(Co)含量/(μg/kg) ≤ 0.5 锌(Zn)含量/(μg/kg) ≤ 0.1 -
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